ETEL konzipierte den AccurET VHP um Subnanometer Positionsstabilitäten zu erreichen, verbunden mit äußerst geringen Schleppfehlern während dynamischer Bewegungen und um die anspruchsvollsten Achsen zu regeln, im Bezug auf Geschwindigkeitsgenauigkeit. Die AccurET VHP Reihe wurde zum aller ersten Mal auf der SPS/IPC Drives in Nürnberg im November 2016 gezeigt.
Für die anspruchsvollsten Anwendungen hat ETEL ein einzigartiges Sortiment an Positionsreglern mit sehr hoher Leistungsfähigkeit entwickelt, genannt AccurET VHP. Diese Produktpalette ist mit beidem ausgestattet, spezieller Hardware und Software, was die Leistungsfähigkeit maximiert. AccurET VHP Positionsregler sind kompatibel mit allen anderen AccurET Reglern und können den anspruchsvollsten Achsen zugeordnet werden. In der Tat ist es die gleiche dezentrale Architektur die im AccurET Modular verwendet wird. Dies ermöglicht, wichtige Teile der Maschinensteuerungs-Software auf der Achs-Ebene abzulegen. Zusätzlich zu den Vorteilen der ETEL Regler wie z.B. hohe Rechenleistung, schnellem Echtzeit-Kommunikationsbus, sowie hochmodernen Steuerungs-Algorithmen, bietet ETELs VHP Palette ein hervorragendes Signal-Rausch-Verhältnis.
AccurET VHPs werden erfolgreich in folgenden Bereichen eingesetzt:
- Prozessteuerung
- Wafer-Prüfung
- Lithographie
- Wafer und Die Level Packaging
- Test- und Prüf-Geräte
Erweiterte Funktionen
ETEL hat sich immer darauf konzentriert, erweiterte Bewegungssteuerungs-Funktionen zu entwickeln, um seine Positionsregler auf dem Markt einzigartig zu machen. Zusätzlich zum Standardsortiment bietet ETEL einzigartige Hardware an, welche eine Leistung ermöglicht, die anderweitig mit herkömmlichen Technologien nicht erreichbar wäre.
Die AccurET VHP ("Very High Performance") Reihe beinhaltet alle Softwarefunktionen und hochentwickelten Algorithmen des Standard AccurET Sortiments und verbindet diese mit einem einzigartigen Hardware Design. VHP Produkte sind speziell entwickelt worden um die anspruchsvollsten Achsen in Bezug auf Positionsstabilität und Geschwindigkeitsgenauigkeit zu regeln. ETEL hat diese spezielle Hardware konzipiert, um Subnanometer Positionstabilität und extrem niedrige Schleppfehler während dynamischer Bewegungen zu erreichen.
ETELs AccurET VHP spezifischer Leistungsausgang erreicht ein ausgezeichnetes Signal-Rausch-Verhältnis von 100dB. Die einzigartige Signalqualität bietet höchstes Leistungsniveau sowohl in Positions- als auch in Geschwindigkeitsstabilität. Darüber hinaus liefert ETELs Kompetenz hohe Stromwerte, welche bei traditionellen Linearverstärker Architekturen begrenzt wären. Die einzigartige VHP Hardware ist der Schlüssel um herausragende Positioniergenauigkeit und hohe Dynamik zu verbinden.
AccuET VHP bietet zudem hochentwickelte Steuerfunktionen, die mehr Auswahl und einzigartige Algorithmen für komplexe Bewegungssysteme ermöglichen. Wie zum Beispiel, AccurET VHP bietet Hochgeschwindigkeits-Encoderschnittstellen (HSEI) um extrem hohe Auflösung der Positionsrückmeldung in Verbindung mit Hochgeschwindigkeitsbewegungen zu ermöglichen.
AccurET VHP Leistungsbereich
Signal-Rausch-Verhältnis
AccurET VHP Positionsregler Spezifikationen
AccurET VHP 48 | Datenblatt (pdf) | 3D-Modell download | |||||||||||||||
Accure ET VHP 100 | Datenblatt (pdf) | 3D-Modell download |
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