Das DXR+ ist ein Drehmodul von ETEL, welches ein kompaktes Design, leichte Masse und eine große Hohlwelle aufweist und das richtige Leistungs- zu Kostenverhältnis für mittlere Anwendungen im Halbleiter- und Elektronikbereich bietet. Das DXR+ bringt wesentliche Verbesserungen hinsichtlich Steifigkeit, welche direkte Auswirkungen auf die Regelbandbreite des XY-Tisches haben, der es unterstützt. Das DXR+ Modul kann von 48 VDC bis zu 300 VDC Busspannung betrieben werden. Es kann von einem AccurET Modular 48 oder 300 betrieben werden oder von einem AccurET VHP für höhere Positionsstabilitäts-Anforderungen. Wie jedes andere Standard Modul von ETEL (ZT,Z3TH, RTTB), kann das DXR+ auf jede Standard XY Plattform montiert werden. Das DXR+ ist ein Modul mit einem Freiheitsgrad, welches unbegrenzte Drehwinkel ermöglicht. Dennoch, als Option, kann der Verfahrbereich in Winkelsegmenten begrenzt werden, welche ein Vielfaches von ca. 60° sind. Die Reinraumklasse eines DXR+ reicht unter bestimmten Bedingungen von ISO 5 bis hin zu ISO 1. Das DXR+ Modul bietet eine richtige Lösung um jede Anwendung zu meistern, die folgendes benötigt: - Gleichlauf der Bewegung - Mittlere Genauigkeitsanforderungen (normalerweise 5 µm Rundlauf) - Positionsstabilität im 100 nm Bereich @ 150 mm Radius Der Einsatz dieses Moduls ist für folgendens geeignet, aber nicht darauf beschränkt: - Wafer Prozesskontrolle, Wafer-dicing - Wafer Strukturierung - Laser Annealing - Solarzellen-Herstellung - etc. Eigenschaften - Diameter: 155 mm - Toothless motor technology (zero cogging) for high speed stability - Low profile / low mass for high precision applications - High accuracy non-contact optical encoder - Unlimited angular travel possibilities - Large hollow shaft: 44 mm - Vacuum supply at chuck level - ISO class 5 clean room compatibility; possibilty to reach ISO class 1 Hauptspezifikationen - Bidirectional repeatability ±2 arcsec at ±3sigma - Position accuracy - down to ±30 arcsec (w/o calibration) - down to ±3 arcsec after calibration - Speed up to 400 rpm - Position stability ±0.2 arcsec - High speed stability capabilities Für weitere Informationen fragen Sie nach dem dazugehörigen Integrationshandbuch.