DXRH ROTARY AXIS

Das DXR+ ist ein Drehmodul von ETEL, welches ein kompaktes Design, leichte Masse und eine große Hohlwelle aufweist und das richtige Leistungs- zu Kostenverhältnis für mittlere Anwendungen im Halbleiter- und Elektronikbereich bietet. Das DXR+ bringt wesentliche Verbesserungen hinsichtlich Steifigkeit, welche direkte Auswirkungen auf die Regelbandbreite des XY-Tisches haben, der es unterstützt. Das DXR+ Modul kann von 48 VDC bis zu 300 VDC Busspannung betrieben werden. Es kann von einem AccurET Modular 48 oder 300 betrieben werden oder von einem AccurET VHP für höhere Positionsstabilitäts-Anforderungen. Wie jedes andere Standard Modul von ETEL (ZT,Z3TH, RTTB), kann das DXR+ auf jede Standard XY Plattform montiert werden. Das DXR+ ist ein Modul mit einem Freiheitsgrad, welches unbegrenzte Drehwinkel ermöglicht. Dennoch, als Option, kann der Verfahrbereich in Winkelsegmenten begrenzt werden, welche ein Vielfaches von ca. 60° sind. Die Reinraumklasse eines DXR+ reicht unter bestimmten Bedingungen von ISO 5 bis hin zu ISO 1. Das DXR+ Modul bietet eine richtige Lösung um jede Anwendung zu meistern, die folgendes benötigt: - Gleichlauf der Bewegung - Mittlere Genauigkeitsanforderungen (normalerweise 5 µm Rundlauf) - Positionsstabilität im 100 nm Bereich @ 150 mm Radius Der Einsatz dieses Moduls ist für folgendens geeignet, aber nicht darauf beschränkt: - Wafer Prozesskontrolle, Wafer-dicing - Wafer Strukturierung - Laser Annealing - Solarzellen-Herstellung - etc. Eigenschaften - Diameter: 155 mm - Toothless motor technology (zero cogging) for high speed stability - Low profile / low mass for high precision applications - High accuracy non-contact optical encoder - Unlimited angular travel possibilities - Large hollow shaft: 44 mm - Vacuum supply at chuck level - ISO class 5 clean room compatibility; possibilty to reach ISO class 1 Hauptspezifikationen - Bidirectional repeatability ±2 arcsec at ±3sigma - Position accuracy - down to ±30 arcsec (w/o calibration) - down to ±3 arcsec after calibration - Speed up to 400 rpm - Position stability ±0.2 arcsec - High speed stability capabilities Für weitere Informationen fragen Sie nach dem dazugehörigen Integrationshandbuch.

Die DynX Rotary-Baureihe ist eine Produktfamilie von hochpräzisen Positionierungsdrehachsen. Mit einer Produktpalette, die über 3 verschiedene Durchmesser verfügt, ist die DynX Rotary-Serie die ideale Standardlösung für alle Anwendungen, bei denen hohe Zuverlässigkeit, hervorragende Genauigkeit, geringer Wartungsaufwand und einfache Integration gefordert sind. Das DynX Rotary Produkt ist eine perfekte Ergänzung zu den linearen Produkten. Es wird keine Schnittstellenplatte benötigt, um Linear- und Drehachsen zu verbinden; daraus ergibt sich eine kompakte Bauweise und eine sehr steife und präzise gestapelte Lösung. Die Drehachsen sind mit einer zahnlosen Motortechnologie ausgestattet, die eine gleichmäßige Bewegung gewährleistet; dadurch sind sie ideal für Anwendungen geeignet, bei denen es auf hohe Geschwindigkeitsstabilität ankommt. Große Hohlwellen, die die Kabel und Schläuche der Kunden aufnehmen können, sind verfügbar. Eigenschaften - 3 verschiedene Durchmesser: 100 / 155 / 225 mm - Zahnlose Motortechnologie (kein cogging) für hohe Geschwindigkeitsstabilität - Flacher Aufbau / geringe Masse für hochpräzise Anwendungen - Hochpräziser berührungsloser optischer Encoder - Verfahrwinkelbegrenzung möglich von 20° bis 390° - Große Hohlwelle für maximale Flexibilität - Winkellineal für die Inbetriebnahme - Optionen und Zubehör, wie beispielsweise eingeschränkte Hübe, Sperrluft und Verlängerungskabel, verfügbar Hauptspezifikationen - Bidirektionale Wiederholgenauigkeit ±1,5 arcsec bei ±3 sigma - Positionsgenauigkeit - bis zu ±30 arcsec (ohne Kalibrierung) - bis zu ±3 arcsec nach Kalibrierung - Drehzahl bis zu 400min-1 - Positionsstabilität ± 0,2 arcsec - Hohe Geschwindigkeitsstabilität Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.