Die DXRH ist die neueste Ergänzung der ETEL-Rotationsachsenlösungen. Es handelt sich um eine mechanisch gelagerte Drehachse mit 1 DOF, die eine hervorragende Leistung in Bezug auf Genauigkeit und Präzision bietet. Ausgestattet mit einem 360'000-Linien-Drehgeber und unübertroffenen mechanischen Eigenschaften, die direkt mit Luftlagerlösungen vergleichbar sind, ohne die damit verbundene Komplexität, wird die DXRH in ihrem Herzstück von HEIDENHAINs bester Drehgeber- und Lagertechnologie und dem zahnlosen ETEL-Direktantrieb ohne Drehmomentwelligkeit bedient. Das DXRH-Modul ist vollständig kompatibel mit den Standard-ETEL-Schnittstellen und ist als Standalone-Modul oder integriert in das ETEL-Systemportfolio erhältlich. Es bietet außerdem einen Performance-Upgrade-Pfad für alle DXR+-basierten Anwendungen ohne jegliches Redesign, da die Schnittstellen identisch sind. Das DXRH-Drehmodul kann in die Stapelplattformen CHARON2 und VULCANO2 integriert werden. Es bringt hohe Steifigkeit, hohe Präzision, hohe Genauigkeit, hohen Reinheitsgrad sowie geringe thermisch induzierte Verformung dank seines Edelstahldesigns. Mit dem Fokus auf die Vereinfachung von Halbleiteranwendungen passt das Modul zu allen unterschiedlichen Märkten und Bedürfnissen, die Lösungen für hochpräzise und hochgenaue Rotation erfordern. Das DXRH-Drehmodul eignet sich für verschiedene Anwendungen und Branchen, insbesondere für Anwendungen in der Wafer-Prozesskontrolle wie Overlay-Metrologie, Critical Dimension und Dünnschicht-Metrologie sowie in der Photonik. Translated with DeepL