QuiET

Eine neue Lösung zur Schwingungsisolation Das QuiET aktive Isolationssystem, ist ein neues Modul das beides beseitigt, systembedingte und (Fuß)-bodenbedingte Schwingungen in allen 6 Freiheitsgraden (6 DOF). Es hindert diese daran, Prozesse zu stören die auf der Bewegungsplattform stattfinden. Meistens, integrieren High-End Anwendungen in der Halbleiterindustrie komplexe Prozessaufbauten, welche auf die eine oder andere Weise mit dem Granit der Bewegungsplattform verbunden ist. Als solches, überträgt sich jede Schwingung auf der Granitebene in Ungenauigkeiten und längere Einschwingzeiten auf der Prozessebene. Dank ETELs Lösung, war es nie zuvor so effizient wie jetzt, diese Schwingungen los zu werden! Die Bewegungs-Perfomance auf die nächste Ebene bringen! Die QuiET Reihe bringt ETELs fortschrittliche Integrations-Strategie einen Schritt weiter. Von nun an, beinhaltet die hochentwickelte Bewegungsplattform nicht nur das zukunftsweisende Bewegungssystem und die dazugehörigen State-of-the-Art Motion Controller, sondern können auch von ETELs firmeneigenem aktiven Isolationsmodul profotieren. Dies macht ETEL zum einzigen Bewegungssystem-Lieferanten der so einen breiten Lieferumfang abdecken kann! Dank eines patentrechtlich geschützten, geräuscharmen Sensors und einer gleichartigen, vollständig digitalen und deterministischen Bewegungsarchitektur, basierend auf 1 Gb TransnET, reduziert ETEL Bewegungs- und Einschwingzeiten bis zu beisspiellosen Werten. Mit einer Genauigkeit der Beschleunigungsvorsteuerung die mehr als 99% erreicht, verbleibt weniger als 1% der Energie, die das Bewegungsystem auf der Granitebene erzeugt. Die Granitmasse auf dem aktiven Isolationssystem kann daher klein gehalten werden, was wiederum die gesamte Anlage und die Masse reduziert, während die Prozesswerkzeuge direkt von einer ruhigeren Umgebung profitieren. Modular, skalierbar und wartbar Die QuiET Reihe wurde konzipiert um höchst modular und skalierbar zu sein. Dank einer Liste von vorausgewählten aktiven und passiven Komponenten, kann ETEL sehr schnell die optimierte Lösung finden die Ihre Anforderungen erfüllt! Federelemente, Lorentz Stellantriebe und herstellerspezifische Sensoren sind eingebettet in einer Art Sandwich basierten Architektur, die dann kundenspezifisch ist, um jegliche Systemanforderungen zu erfüllen und die Wartbarkeit im Feld zu vereinfachen. Die Controller des QuieET Moduls und die der Bewegungsplattform sind alle Standard AccurET Controller und können im selben Baugruppenträger oder Schaltschrank platziert werden. Inbetriebnahme Programm Eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche ist verfügbar. Sie ist konform mit jeglicher Art der Systemkonfiguration und beinhaltet: - Automatische Einstellung der Vorsteuerungsparameter - Identifikation des Systems - Integrierte Abgleichmöglichkeiten