Vakuum-Spannsystem

Hallo,
hat hier schon jemand Erfahrungen mit Vakuum-Spannsystemen gemacht? Ich beabsichtige so etwas für unsere Flachschleifmaschine anzuschaffen, insbesondere für empfindliche und nicht-magnetische Teile. Mein Interesse bezieht sich insbesondere auf Bearbeitungsfehler, die bei Verwendung einer solchen Unterlage beobachtet wurden (bspw. durch elastische Nachgiebigkeit) und eventuelles Aufquellen durch Schleiföl.